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用于改善线锯切割期间的干燥度的组合物

摘要

本发明提供用于使用线锯对基材进行切片的组合物,其中该组合物包含液体载体和研磨剂。本发明进一步提供使用线锯和组合物对基材进行切片的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN102257602A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 嘉柏微电子材料股份公司;

    申请/专利号CN200980151101.6

  • 发明设计人 N.纳吉布;S.格伦比尼;K.莫根伯格;

    申请日2009-12-21

  • 分类号H01L21/301;

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人宋莉

  • 地址 美国伊利诺伊州

  • 入库时间 2023-12-18 03:51:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-02-03

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/301 申请公布日:20111123 申请日:20091221

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-01-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/301 申请日:20091221

    实质审查的生效

  • 2011-11-23

    公开

    公开

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