公开/公告号CN102257602A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉柏微电子材料股份公司;
申请/专利号CN200980151101.6
申请日2009-12-21
分类号H01L21/301;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人宋莉
地址 美国伊利诺伊州
入库时间 2023-12-18 03:51:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/301 申请公布日:20111123 申请日:20091221
发明专利申请公布后的驳回
2012-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/301 申请日:20091221
实质审查的生效
2011-11-23
公开
公开
机译: 用于改善线锯过程中干燥度的组合物
机译: 用于改善线锯切割过程中干燥的组合物
机译: 用于改善线锯切割过程中干燥的组合物