SiC单晶片线锯切割过程切割力的建模

摘要

SiC单晶具有良好的物理和机械性能,广泛用于大功率器件和IC行业,但由于材料高的硬度和脆性,使其加工过程成为难点.本文就切割过程中切割力进行建模分析,静态建模用曲面响应法进行实验拟合,得到对切割力影响最为显著的因素.为了对系统的切割力进行控制,将模型简化为单因素模型,并对简化后模型的误差分析,表明该简化模型的可行性.