错误检测机构、错误应对方法及薄片介质供给机构

摘要

一种错误检测机构、错误应对方法及薄片介质供给机构。该错误检测机构包括：传感器，检测对象物已移动到规定位置；驱动装置，将对象物移动到规定位置；以及错误判定装置，在所述传感器从所述驱动装置的驱动开始在规定时间内检测对象物未移动到规定位置的情况下，通知对对象物执行规定的处理。