法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/24 申请公布日:20111012 申请日:20091113
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20091113
实质审查的生效
2011-10-12
公开
公开
机译: 沉积材料供应装置和使用该沉积材料供应系统的沉积系统可以防止储存在容器下部的沉积材料的变质
机译: 蒸发源,沉积材料供应装置和包含该装置的沉积装置
机译: 能够保持沉积在基板上的有机发光装置的厚度均匀的材料供应装置