法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-08
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/42 申请公布日:20110928 申请日:20041214
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/42 申请日:20041214
实质审查的生效
2011-09-28
公开
公开
机译: 正型光敏树脂组合物,由该树脂组合物形成的未固化树脂图案,固化树脂图案,使用该组合物的半导体器件及其制造方法
机译: 一种光敏树脂组合物的制造方法,一种通过使该光敏树脂组合物固化而获得的固化膜,具有固化膜的基板和具有固化膜的基板。
机译: 一种光敏树脂组合物的制造方法,一种通过使该光敏树脂组合物固化而获得的固化膜,具有固化膜的基板和具有固化膜的基板。