掺硼磷CZ硅棒及配料中硼、磷快速分析法

摘要

一种掺硼磷CZ硅棒及配料中硼磷含量的快速分析法。该方法首先计算出CZ硅棒的头部掺杂浓度和一定长度上的掺杂浓度，根据公式(4)、(5)、(6)，推导出此CZ硅棒配料中的硼、磷含量，转换成对应的电阻率，同时根据公式(4)，计算出硅棒上任意长度上的硼含量引起的电阻率和等效电阻率；本发明具有计算准确、方便快捷的优势，减少硅材料的测试成本与费用，可以用于太阳能级CZ单晶的质量鉴别、半导体CZ单晶的质量鉴别、硅料的质量鉴别等方面，应用前景广泛。