掺镓CZ硅棒及配料中硼、磷的分析方法

摘要

一种掺镓CZ硅棒及配料中硼、磷的分析方法。该方法首先计算出镓在硅棒的头部掺杂浓度和一定长度上的掺杂浓度，以及只考虑硼磷时CZ硅棒的头部掺杂浓度和一定长度上的掺杂浓度，根据公式(5)、(6)，推导出此掺镓CZ硅棒配料中的硼、磷含量，转换成对应的电阻率，并用EXCEL制成表格。本发明是掺镓太阳能级CZ硅单晶中必不可少的质量控制方法，通过本发明将使太阳能硅片的生产处于可控状况下，提高产品质量和企业竞争力。