CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法

摘要

一种CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法，该方法是：当单晶硅操作人员生产时，根据实际情况，找到对应的投料量、母合金电阻率、对应的极性、吊肩电阻率和目标电阻率，得到对应的重量，即为需要掺杂的重量，并使单晶硅操作人员便捷、快速的完成电阻率掺杂工作；本发明也可以用以下公式来代替：即当单晶硅操作人员生产时，根据实际情况，找到对应的投料量、母合金电阻率、对应的极性、吊肩电阻率和目标电阻率，通过所附的计算公式，计算出需要掺杂的重量，并使单晶硅操作人员便捷、快速的完成电阻率掺杂工作。