提高压印对准过程中莫尔条纹图像质量的数字莫尔条纹方法

摘要

本发明公开了一种提高压印对准过程中莫尔条纹图像质量的数字莫尔条纹方法，包括(1)标记设计；(2)光栅图像的采集；(3)光栅图像预处理；(4)合成莫尔条纹图像；(5)莫尔条纹信号的预处理。本发明通过采用CCD采集光栅图像，通过计算机合成数字莫尔条纹的方案进行纳米压印对准代替原来直接利用CCD采集莫尔条纹图像进行对准。从莫尔条纹形成角度，解决了传统方法由于工艺层覆盖的不对称性、对准光束在工艺层界面的多次反射，对准过程中莫尔条纹的对比度下降的问题，以及由于光的多次干涉、衍射带来的对准图像误差问题，提高了压印过程中，莫尔条纹对准图像的质量，从而提高了对准中莫尔条纹相位提取的精度，进一步提高了压印对准精度。