闭环霍尔电流传感器在高能大束流离子注入机灯丝电源中的应用

摘要

本发明公开了一种新型的高能大束流离子注入机的电源中电流的测量传感器，该发明属于半导体器件制造领域。本发明使用的测量传感器为闭环霍尔电流传感器，闭环霍尔电流传感器的工作原理是霍尔磁平衡式(或称霍尔磁补偿式、霍尔零磁通式)。即原边电流(In)所产生的磁场，通过一个副边线圈的电流(Im)所产生的磁场进行补偿，使霍尔器件始终处于检测零磁通的工作状态。当原副边补偿电流产生的磁场在磁芯中达到平衡时，即N1×In＝N2×Im(N1，N2分别为原，副边线圈的匝数)，当已知传感器原边和副边线圈匝数时，通过测量副边补偿电流Im的大小，即可推算出原边电流In的值，从而实现了原边电流的隔离测量。