公开/公告号CN104576273A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 北京中科信电子装备有限公司;
申请/专利号CN201310507670.8
发明设计人 李明阳;
申请日2013-10-24
分类号H01J37/244;H01J37/317;
代理机构
代理人
地址 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
入库时间 2023-12-18 08:35:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/244 申请公布日:20150429 申请日:20131024
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-09-07
文件的公告送达 IPC(主分类):H01J37/244 收件人:北京中科信电子装备有限公司 文件名称:实审请求期限届满前通知书 申请日:20131024
文件的公告送达
2015-04-29
公开
公开
机译: 用于控制离子注入机中的束流均匀性的方法和设备
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