首页> 中国专利> 一种束流采集电路在离子注入机中的应用

一种束流采集电路在离子注入机中的应用

摘要

本发明讲述的是一种束流采集电路在离子注入机中的应用。该电路包括:电压滤波单元1;恒流源单元2;12路I/V转换单元3;12路电压放大单元4。说明书对本电路进行了详细的说明,并给出具体实施方案。

著录项

  • 公开/公告号CN104576273A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-04-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京中科信电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201310507670.8

  • 发明设计人 李明阳;

    申请日2013-10-24

  • 分类号H01J37/244;H01J37/317;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

  • 入库时间 2023-12-18 08:35:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-09

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/244 申请公布日:20150429 申请日:20131024

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2016-09-07

    文件的公告送达 IPC(主分类):H01J37/244 收件人:北京中科信电子装备有限公司 文件名称:实审请求期限届满前通知书 申请日:20131024

    文件的公告送达

  • 2015-04-29

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号