具有限制部件的三维半导体管芯结构及方法

摘要

一种管芯上管芯组件，具有第一管芯(10)和第二管芯(50)。第一管芯(10)具有第一接触延伸件(28、42)以及使第一高度延伸至第一管芯以上的栓柱(32、44、45)。第二管芯(50)具有与第一接触件连接的第二接触延伸件(68)并且具有使第二高度延伸至第二管芯以上的包围栓柱的限制部件(62)。栓柱延伸超过限制部件。因为栓柱延伸超过限制部件，所以在第一及第二管芯之间的横向移动能够引起栓柱变得与限制部件接触并且由限制部件所约束。从而栓柱和限制部件有用于约束第一及第二管芯之间的移动。