法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/31 公开日:20091125 申请日:20080122
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-03-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-25
公开
公开
机译: 沉积设备PEVCD是容器中的内部阻挡层,其包括用于等离子体光学分析的装置。
机译: 气隙ILD用PECVD沉积的专用聚合物薄膜的UV固化
机译: 气隙ILD用PECVD沉积的专用聚合物薄膜的UV固化