法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-03-23
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/317 公开日:20091021 申请日:20090515
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-12-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-21
公开
公开
机译: 从晶圆保持部件中跳出的方法,晶圆中的部分裂纹的检测方法,在CMP装置中晶圆中的跳出的方法,CMP装置中晶圆中的部分裂纹的检测方法以及在晶圆中的部分跳动的检测方法脱离晶圆生产商
机译: 用于在所述检测方法被应用的装置中检测用于检测可再充电电池装置的内部信息的可再充电电池检测装置的内部信息的检测方法,包括在所述软件程序中在所述已检测的方法和存储介质中存储的所述实际检测装置。
机译: 记录中膜厚检测装置,图像形成装置,记录中膜厚检测方法,记录中膜厚检测方法的程序以及记录中膜记录程序