法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/324 公开日:20090624 申请日:20070110
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-08-25
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/324 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2009-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-24
公开
公开
机译: 通过焦耳加热防止在快速退火期间产生电弧的方法
机译: 防止因焦耳加热而导致电弧快速发生的热处理时间的方法(电弧快速退火产生的金属光气重新生成)
机译: 焦耳加热防止快速退火过程中产生电弧的方法