首页> 中国专利> 避免利用焦耳加热的快速退火期间产生电弧的方法

避免利用焦耳加热的快速退火期间产生电弧的方法

摘要

本发明揭示一种在一热处理需求材料、介电层及导电层构成的一混合结构内之快速回火法,包含在该热处理需求材料的一预定部分上之快速回火期间,利用对该导电层施加一电场瞬间产生高热造成焦耳加热效果,该热处理需求材料与该导电层之间的该电位差设定低于该介电层的该介电崩溃电压,从而避免在该回火期间因为该介电层的介电崩溃而产生电弧。

著录项

  • 公开/公告号CN101467236A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2009-06-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英矽尔科技公司;卢在相;

    申请/专利号CN200780021200.3

  • 发明设计人 卢在相;洪沅义;

    申请日2007-01-10

  • 分类号H01L21/324;

  • 代理机构北京安信方达知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈怡

  • 地址 韩国首尔

  • 入库时间 2023-12-17 22:14:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-05-18

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/324 公开日:20090624 申请日:20070110

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-08-25

    专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/324 变更前: 变更后: 变更前:

    专利申请权、专利权的转移

  • 2009-08-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-06-24

    公开

    公开

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