法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N30/02 公开日:20090715 申请日:20090120
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-09-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-15
公开
公开
机译: 等离子体处理装置中的等离子体状态的测定方法以及用于该测定方法的等离子体测定装置
机译: 使用低温等离子体的气体和使用低温等离子体的气体中整个有机碳的气体分析方式
机译: 等离子体处理装置中的F密度测定方法,等离子体处理方法及等离子体处理装置