用于低于200nm的平版印刷的基于金刚烷的分子玻璃光致抗蚀剂

摘要

本发明公开了作为新型高效光致抗蚀剂物质的由含有缩醛和/或酯部分的金刚烷衍生物产生的玻璃光致抗蚀剂。所公开的一些基于金刚烷的抗蚀剂具有三足结构，所公开的其它基于金刚烷的抗蚀剂包括一个或多个胆酸基。所公开的金刚烷衍生物可由市售的原材料合成。仅作为例子，所公开的许多无定形玻璃光致抗蚀剂中的一种具有上述结构：GR－5金刚烷－1，3，5－三基三(氧基亚甲基)三胆酸酯。