氦质谱检漏仪的进样系统

摘要

一种氦质谱检漏仪的进样方式，包括以下步骤：先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5－30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。检漏仪的灵敏度指标提高8倍。