公开/公告号CN101289738A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 上海北玻镀膜技术工业有限公司;
申请/专利号CN200810087947.5
申请日2008-03-26
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/54(20060101);
代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;
代理人孙皓晨;朱世定
地址 201614 上海市松江区小昆山镇光华路328号
入库时间 2023-12-17 20:53:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-09-02
授权
授权
2008-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-22
公开
公开
机译: 能够进行磁控溅射镀膜工艺和耐热加热沉积工艺的电磁波屏蔽膜的涂层装置
机译: 用于控制真空镀膜系统中磁控溅射时镀膜速率横向分布的装置,具有用于调节从气体通道段进入真空室的气体流量的气体调节单元,该气体调节单元被设置为致动器
机译: 在等离子CVD的膜厚修正功能中