一种双轴差动电容式微机械加速度计

摘要

本发明涉及一种双轴差动电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器领域；该速度计包括一个由硅片，设置在该硅片上的四个方形可动电极和将各可动电极隔离开的绝缘层构成的敏感质量元件，与该硅片水平相对的基片，设置在该基片上的与四个方形可动电极相对应的四个方形固定电极，设置在该硅片两端固定该硅片的两个横向折叠梁；固定该横向折叠梁的两个纵向折叠梁；将该两个纵向折叠梁固定有该基片上的立柱；使四个可动电极平面相对基片悬空平行。本发明具有结构简单、灵敏度高的特点，可实现高精度的二维加速度测量。