一种双轴电容式微机械加速度计

摘要

本实用新型公开了一种双轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；结构层包括一个关于中心自对称的质量块、质量块外框、用于支撑质量块的四个支撑梁、四个差分检测电容单元，每个差分检测电容单元包括至少一个差分检测电容对，差分检测电容对包括一个可动电容极板和两个固定检测电容极板，金电极层包括第一至第十二电极。通过加速度改变质量块的可动电容极板与对应固定检测电容极板的间距，从而改变差分检测电容单元的电容大小，接口电路通过测量检测电容来换算出加速度。本实用新型加速度计能敏感质量块面内相互垂直的两个方向的加速度，对称结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。