法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-27
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N33/483 申请公布日:20071107 申请日:20070528
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/483 申请日:20070528
实质审查的生效
2007-11-07
公开
公开
机译: 带电粒子束显微镜设备,带电粒子束应用设备,带电粒子束显微镜方法,带电粒子束检查方法和电子显微镜
机译: 用于将液体浸入剂应用到显微镜目标和要在显微镜下检查的样品之间的间隙中的装置和方法
机译: 具有结构和方法的应用以及过滤液体的显微镜检查方法