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用于粒子光学装置中的色差校正的校正器

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摘要

本发明描述了在诸如SEM或TEM这些粒子透镜中用来校正色差的校正器。为了降低对这种校正器的电源稳定性的要求，粒子射束通过该校正器所具有的能量低于粒子射束通过被校正的透镜所具有的能量。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-03-06

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J37/153 申请公布日:20070530 申请日:20061102

发明专利申请公布后的驳回
2008-12-31

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-05-30

公开

公开

1. 用于粒子光学装置中的色差校正的校正器 [P] . 中国专利： CN1971836A . 2007-05-30
2. 用于校正粒子光学装置中的畸变的方法 [P] . 中国专利： CN101685754A . 2010-03-31
3. Chromatic aberration corrector for charged particles and charged-particle optical apparatus using the corrector [P] . 美国专利： US7211804B2 . 2007-05-01

机译：用于带电粒子的色差校正器和使用该校正器的带电粒子光学设备
4. Chromatic aberration corrector for charged particles and charged-particle optical apparatus using the corrector [P] . 美国专利： US2005104006A1 . 2005-05-19

机译：用于带电粒子的色差校正器和使用该校正器的带电粒子光学设备
5. Corrector for the correction of chromatic aberrations in a particle-optical apparatus. [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1783812A3 . 2008-03-05

机译：用于校正粒子光学设备中色差的校正器。