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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会

召开年：1999
召开地：成都
出版时间： 1999-08-01

主办单位：中国仪器仪表学会

会议文集：仪器仪表学报(1999第4期增刊)

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1.磁环均匀度测试仪的机电一体化设计
- 王志明;蒋引全
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了磁环均匀度测试仪的机电一体化妆品设计，包含机械及软硬件的设计方法。通过测试可以真实，准确地反映磁环均乐度值及其磁环一周的均乐度状况，并能通过外设显示打印要求的值或曲线。
2.基于ActiveX自动化用VBA进行AutoCAD二次开发
- 张振龙;陈慧宝;何毅
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：除了AutoLISP、Visual LISP、ADS和ARX以外，AutoCAD从R14.01开始支持Visual Basic for Application(VBA)作了综的开发工具。AutoCAD ActiveX自动化实际上提供了一种程序方式从AutoCAD内部或外部控制AutoCAD的机制。AutoCAD本身作为一个对象通过一组接口与菘它应用程序进行通讯。基于AutoCAD ActiveX自动化的VBA开发工具具有许多优点。该文将对如何基于ActiveX自动化用VBA进行AutoCAD二次开发作一介绍，包括AutoCAD ActiveX自动化的概念、对象等，并用一个实例说明用VBA开发的一般过程、步骤。
3.基于压电子陶瓷驱动器的机器人柔性手臂神经网络控制的研究
- 孙立宁;赵宏伟;王冬生;蔡鹤皋
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文研究了以压电陶瓷为驱动器的机器人柔性手臂，推导了压电陶瓷驱动器的动力学方程，设计了一个单神经元自适应PID控制主要控制，试验结果验证控制对机器人柔性手臂抑振的有效性。
4.一类易于微小化的闭链机器人机构的结构综合与运动分析
- 罗玉峰;杨湘杰;汪刘一;杨廷力
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文对一类新型非Wtewart型的六自由度闭链空间机器人机构进行了结构类型综合，得到了`14种不同的结构类型选取了一种结构进行运动学尺度设计，建立了位置分析的正、逆解议程并求解。结果表明，通过适当选择各回路的约束形式运动副的类型，可得到该种闭链机器人机构位置分析的正、逆解议程的解析解。最后讨论了该类闭链机器人机构的微小化设计问题。
5.激光LIGA工艺制作微机械元件
- 沈蓓军;王润文;路郭武;黄惠杰;杜龙龙
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻的实验装置以及实验过程分别作了详细的论述或介绍，并将实验结果应用于微机械元件的制作，取得了较好的结果。
6.模型参考自适应控制系统设计中采用步长加速法优选参数的研究
- 秦连城
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：针对交流伺服系统在实际应用中存在的参数高速不便等问题，该文提出了对交流伺服系统的速度环进行模型参考息适应控制。在电子电路表面组装征税线上的飞针测试仪交流伺服系统设计中，应用了模型参考自适应控制，并对交流伺服系统的模型参考自适应系统进行了改进，采用步长加速成法优化选择系统的合理参灵敏。经住址实验主明，步长加速法优化参数可以显著改善系统的设计性能。
7.纳米级炫耀光栅测量系统稳定性研究
- 张绍宗
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文记述了炫耀光栅的工作原理及纳米级分辨率的实现方法。弦耀光栅测量系统具有分辨率高、测量范围大、光栅间隙大等优点，但当用激光做光源时，由于激光本身有角度漂移，会影响到测量系统的稳定性。针对激光的角度漂移问题，采用单模光导纤维，让激光通过光学系统藉合到单模光纤中，从单模光纤出来的激光再通过光学系统变成平赴我。激光通过光导纤维后，其角漂大大减小，从而提高了系统的稳定性。
8.基于微型机器人系统的能动内窥镜研究
- 陈寅;李强;林良明;颜国正
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文讨论了微型机器人系统的实现和关键技术，研究微机电系统在医用内窥镜中的应用和微创外科手术这一热点问题，并采用微型电磁驱动机器人研制出符合微创手术要求的新型能动内窥镜系统。
9.超声马达定子动态特性的分析与激光测试
- 杨明;阙沛文;施文康;赵淳生
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：超大型声马达通常工作在共振频率的附近。因此，超声马达定子动态特性的分析与测试是研究与工发出高性能超声马达的必要条件。然而，由于超声马达定子的振幅在μm数量级，而且工作频率在超声范围，使得超声马达定子动态特性测试较为特殊。该文分析超声马达定子的动态特性，并介绍了利用激光电子散斑测振方法实现超声马达定子动态特性的实验结果。结果表明激光电子散斑测振是研究超声马达定子动态特性一个很有效的测试手段。
10.机器人自动焊接控制系统
- 沈俊杰;谈士力;陈久康
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了一种机器人自动焊接控制系统，介绍了它的体系结构、系统组成、机器人、机器人接口和控制方法、控制系统功能。该自动焊接系统采用日本安川（YASKAWA）公司的弧焊机器人，配两付回转自动精密夹具。控制系统采用可编程序控制器（PLC）作为系统控制器，配上感应角模式操作屏作人机界面，用伺服定位控制伺服电机实现回转自动夹具的高精度旋转分度定位，采用远程I/O模块控制自动夹具，通过I/O口与机器人进行住处交换。该系统具有手动/自动两种操作方法，操作提示，自动工件坟数，故障自动报警；完备的安全保护等功能。
11.虚似仪器技术在汽车连杆三工位螺母自动扳紧检测仪器中的应用
- 阙沛文;束文慧
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文以汽车连杆三工位螺母自动扳紧检测仪器的虚拟仪器技术在研制精密测试仪器中的应用前景。虚拟仪器技术是精密测试仪器的发展方向。以往研制的精密测试仪器功能单一，研制周期长，硬件复杂，更新换代慢，而虚拟仪器技术，将计算机技术完美地结合起来，它利用少量硬件加工功能强大的图形化编程平台，使精密测试仪器做到多功能一体化。另外，通过设置串行接口、GPIB接口，可方便地形成自动测试系统。
12.声表面波传感器及其应用
- 施文康;刘艾;蔡萍;杨明
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文简要地回顾了传感技术的发展历史和现状，指出微传感器中当今世界的发展潮流。声表面波传感器是微型物性型传感器的一个分支。由于它所特具的众优点和广泛的应用前景，引起了世界各发达国家科技界、产业界的极大举，成为近十年来开发研究的热点之一。该文着重叙述了声表面波传感器的基本工作原理、基本型式、主要特点以及它有各个邻域中已经和可以预见的应用，从而可看出它将在信息产业中所起的重要作用。
13.微型硅梁谐振器的质量敏感性及其在气体检测方面的应用
- 徐涛;钟先信;武国英
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文对微型硅梁谐振器的质量敏感性进行了研究，建立了微型硅梁的谐振频率随频率随表面被吸附物质量变化的关系式及质量检测的灵敏度公式，从理论上给出了提高其灵敏度和性能的途径。在此基础上，对微型硅梁谐振器在气体检测方面的应用进行了研究，通过与石基晶体气体传感器的对气体检测实验，证明它是一种性能优良、值得进一步研究气体传感器结构。
14.用球面共焦Fabry-Perot干涉仪测量微振动
- 杨勇;胡小唐;禹国强;齐鹏
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了一种光学非接触测量超微振动方法。球面共焦Fabry-Perot干涉仪（简称球面F-P干涉）具有高灵敏度、集光能力强和易于调整等特点，利用其特点设计了一套微振动测量系统，并采用自动稳腔长的方法，使系统具有良好的稳定性；通过实验，检测出5MHz脉冲压电换能器产生的微振动波形。
15.纳米级定位技术的研究
- 孙立宁;张涛;曲东升;刘延杰;蔡鹤皋
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文根据纳米级定位技术的需求，提出了机构、驱动、检测一体化的定痊技术和控制方法，分析了其中的关键问题，并介绍了作者设计的几种典型系统的原理和实物。机构、驱动、检测一体化的定位技术是根据纳米级定位的高精度要求，将高精度驱动器、无间隙和无无摩擦的弹性纲构、高精度传感器和有效的控制算法有机地结合，系统不但具有很好的静态特性，还具有较好的动态性能。
16.基于微小零件装配的微操作机器人系统的研究
- 张涛;孙立宁;刘品宽;蔡鹤皋
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微小零件装配是目前微波机械、MEMS系统装配中要解决的重要问题之一。该文根据微小零件装置的需求，分析了微操作系统组成原则和系统优化配置，介绍了研制的具有礼堂监控和力觉反馈功能的微操作机器人系统的组成，特别是三自由度、具有位置闭环的微操作手臂和微夹持器的工作原理。
17.骨密度仪扫描器设计
- 朱敬德
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文注意到了当前对人体骨密度的测量已成为现代医学的一个重要课题，提出了针对跟骨的骨密度测量仪的总体设计方案，重点叙述了扫描器的主要零部件的设计，选择了步进电机，滚珠丝杠，齿轮组成了x-y二维方向的扫描系统，扫描信号经昌体位增管接收和放大，经微机处理，打印出跟骨成像与骨密度值。
18.透射式γ射线ICT中的散射修正和能谱硬化
- 王银峰;杨学恒
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：透射式γ射线ICT采集系统所获原始数据中，包含有Compton散射光子的计数，同时在使用具有多个能谱的放射源时，将破坏象素与灰度的一一对应关系，这些因素将给提高测量精度和图象重建带来难以克服的困难。该文讨论了二者的影响，并给出相应修天项的数学表达式。
19.微孔振动钻削机理的试验研究
- 曾忠
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微孔在工艺上一直是较难的精密加工问题。该文采用超声波振动钻削方法，在几种典型材料上，对孔径Φ0.2～0.5mm的微孔进行钻削实验，分析研究了振动钻削的效果和机理。振动切削改变了传统的刀刃-工作相对运动关系，改善了切削条件。振动钻削的入钻过程和脉冲楔入，入钻容易，定位精度高。切削力小，切削温度低，断悄温度低，断悄效果好，排悄顺畅，钻头磨损慢，振动钻削过程稳定。孔的尺寸精茺和形状精度明显提高，孔表面粗糙度比普通钻孔降低2级左右，钻头寿命提高3～4倍。
20.微机械及微细加工技术
- 曾忠
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了当前国际上微机械研究的概况与发展趋势、相关基础理论和制作微机械的主要工艺技术。
- 微机械;
- 微细加工;
21.显微立体成像微操作系统的研究
- 王立鼎;刘冲;李路明;于波;潘颖;张培
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微操作系统可用于细胞的基因显微注射、细胞核移植等操作，已广泛用于转基因动物的研究、生物制药、克隆和植物品种改良等。微操作系统的研究，已成为当今前沿科学和技术MEMS的重要组成部分。该文介绍了国内外微操作系统研究的最新进展，针对现有系统存在的不足，提出了一种新型微操作系统。文中论述了其基本组工作原理以及实验结果。
22.纵弯式压电微电机优化设计研究
- 邵培革;曲炳郡;王立鼎
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：近似认为仅与驱动臂低阶共振频率相近的协波决电机的输出特性，建立了压电微电机的输出特性与电机结构关系的模型和优化设计压电微电机的结构的方法。制作了Φ5mm的纵弯式压电微电机，进行了实验研究。
23.端面摇摆式电磁微电机的实验分析
- 贾智;王立鼎;梁静秋;姚劲松
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了端面摇摆式微型电磁电机的工作原理并重点对Φ5mm的实验样机的各种控制条件古的工作情况进行了初步的实验分析研究，这些结果对进一步改善此类电机具有重要的指导意义。
24.可变力形状记忆合金薄膜微夹钳的研究
- 曲炳郡;邵培革;王立鼎;李路明
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文提出了基于形状记忆合金的过程不可控及过程准可控概念，以及单元互联这一实现形状记忆合金执行器过程准可控的设计思想，并基于单元互联思想对一类可实现变力夹持的形状记忆合金薄膜夹钳进行了研究。
25.压电元件的动态非线性及其校正方法
- 贾宏光;吴一辉;王立鼎
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文比较详细地介绍了对压电元件动、静态非线性的各种校正方法，并提出了一种非线性模型拟合公式及应用此模型构成的前馈控制方法。
26.卫星姿态控制及储能一体化系统
- 吴一辉;贾宏光;林来兴
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文提出采用飞轮储能兼作姿态机动和稳定的方法来代理列有的蓄电池和三轴姿态控制系统，给出了系统的工作原理和结构方案。用典型的双飞轮结构与传统的蓄电池+三轴飞轮姿态控制系统进行了初步对比，由此说明了该系统的重量、储能潜力、大功率、长寿命等方面突出的优越性。
27.光盘刻槽机用超高回转精密空气静压轴承研制
- 李志来
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：超高回转精度空气静压轴系是光盘刻槽机的核心部件。该文叙述了空气静压轴承的研制过程，通过实验值与理论值对比，证明该设计合理，计算正确，加工与装配工艺好，装调后主轴回转精度不大于 0.0142μm ，满足了不大于 0.05μm的使用要求。
28.四齿差谐波齿轮传动啮合性能的研究
- 何惠阳;辛洪兵;张承嘉;谢金瑞
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文首先从谐波齿轮传动的基本原理出发，探讨了四齿差谐波齿轮的工作原理和运动特点，并与两齿差谐波齿轮传动进行了分析对比。根据已建立的四齿差谐波齿轮传动的啮理论，对其啮合性能进行了分析，提出了啮合深度的齿侧间隙是评价其啮合性能的质量指标，而齿形角、柔轮的变形规律和变形量的大小是影响啮合性能质量指标的主要因素。该文利用已建立的啮合分析计算方法，通过计算机绘出的图形，着重分析了径向变形系数、变位系数、齿形角等对啮合深度的齿侧间隙的影响，从中获得了一些有价值的结论，从而为四齿轮传动选取合理的啮合参灵敏和结构参数提供了依据。
29.多点密集排列小空间两维精密定位结构
- 高云国
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文针对LAMOST天文望远镜工程中分布在直径1.75m圆焦面上的4000要光纤同时接收星光信号和快速对准的要求，根据杠杆的位移放大原理，提出了摆杆式并行平台光纤定痊的方法，设计出在小空间内多点密集排列两维精密定痊结构，并对其进行了分析和试验，试验结果表明，该结果完全可以满足LAMOST工程对光纤定位提出的各项指标要求，定位精度可达±0.040mm，为LAMOST工程方案的选择提供了依据。
30.精密数字随动系统中的自适应控制
- 熊木地;邢忠宝
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文首先分析了精密数字随动系统中影响随动轨迹特怀与平稳性的主要因素。随动伺服（又名电子传动），广泛用于大型精密设备。文中对长距离数字随动系统的伺服方法作全面的分析，并提出采用自适应控制对长距离传输的位置信号进行纠错和滤波。由于位置随动系统的运行是点到点伺服，运行的平稳性不好，同时，由于数字位置随动伺服系统存在较严重的滞后问题，采用预测的方法可较好地改善系统的滞后特性并提高平稳性。最后给出了采用不同的热行器件在设计时应注意的问题。
31.广义运动误并大回路补偿控制原理
- 宾鸿赞;陈世友;梁伟文
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文提出了广义运动误差大回路补偿控制方法，阐述了该方法的基本原理及其关键技术，指出了实现广义运动误差大回路补偿控制的方案及适用条件。
32.激光烧结分形路径的二维数控系统
- 张小波;宾鸿赞;刘征宇;高宏卿
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：根据分形路径激光选择性烧结的特点，研制了基于分形扫描的二维数控系统，该文详细介绍了系统的同步实现策略，根据分形扫描数据量大的特点采用扩充内存技术，实现了分形扫描的实时控制。
33.CAPP中的面向对象方法
- 陈万领;彭义兵;陈卓宁;宾鸿赞
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了CAPP系统中面向对象的方法，对工艺系统进行了数据抽象，给出了系统的具体的对象模型以及对象实例化的方法，为开发CAPP工具系统提供了可重用性好的类功能构件。
34.SPM仪器时间稳定性的测量与补偿
- 王文伟;金农;胡志强;夏安东;黄文浩
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：扫描探针显微镜是一种超高精度的仪器。它的分辨率可达到纳米量级，在纳米科技领域有着重要的应用。SPM仪器的时间稳定性是一项重要的技术指标。研究人员通过SPM仪器测试二维光栅所得图象，运用图像相关技术测量某商用SPM仪器的漂移速率。通过在控制软件中添加增加漂移补偿模块，以压榻陶瓷的微位移来补偿热漂移的影响。最终使该仪器的漂移速率减小一个数量级。
35.本质防爆型液位遥测传感器
- 许兴智;徐重廉;史淑华;张兆田;张一钢
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文对国内外现有的主要液位测量传感器进行了分析，介绍了一种新型液位测量传感器--本质防爆型液位遥测传感器。其主要特点是：采用圆光栅测量，用光纤系统传输信号，用力学自平衡系统传感液位变化。
36.视网膜成像自适应光学系统
- 张雨东;凌宁;饶学军;王成;姜文汉
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
37.微小型光学波前校正器
- 凌宁;王岚;焦世龙
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文对自适应光学新技术的关键器件--波前校正器的作用和工作原理作了简单的介绍，也通过典型例子对自适应光学系统作了描述，并重点介绍了研究人员研制的微小型波前校正器实测的各种特性。
38.电磁式微小管道机器人的研制
- 连俐;孙萍;孙麟治;龚振邦
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了电磁式微小管道机器人的运动原理，在第一期模型的基础上进行了结构改进，研制出第二期模型，实现了机器人的双向行走，并对两种模型进行了动作原理的比较和实验参数的分析。
39.采用环梁结构的双向力检测新方法
- 潘英俊;秦岚;乔生仁;刘京诚
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了一种可同时检测双向力的新方法。采用环式和梁式组合结构，在组合结构的环和梁上成对粘贴电阻应变片，将两应变片输出接入差动电桥相邻臂跨接在电源两端，通过检测输出电压即可得知所受外力的大小和方向。该文对该结构受双向力作用时的应力状态进行了分析，推志建立了这种检测方法的测力数学模型。
40.非线性迟滞现象的广交会义模型及其在压电微作动器中的应用
- 杜正春;李春梅;颜景平
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：传统上描述压电晶体行为的方法是基于理想物理状况的经典线性本构议程组。但是它对压是器件在精密工程应用中广泛存在的非线性迟滞现象却无能为力。该文从机械的角度分析了迟滞现象的本质，认为它和依赖于速度的阻尼耗散相耦合，可用纯库仓摩擦元件与理想弹簧的耦俣系统来建模。通过机电系统模拟，该文提出了一种非线怀迟滞的广义模型，讨论了其对压电微作动器非线性性迟滞现象的描述，它将有助于各种精密稳健控制系统的设计和分析。
41.通信设备SDH连结器自动锡焊系统的研制
- 苏建良;程维明;沈振审;沈耀宗
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了SDH多点连结器自动锡焊系统的研制,该系统包括机械、驱动、传感和控制等部分。系统以小型流水线形式实现自动焊接代替人工焊接，大大提高了劳动生产率和产品质量，上位机和下位机分别控制，充分利用了计算机良好的人机界面，确保了操作的方便性和安全可靠性。
42.精密机床恒温部件模型的建立及热模态实验研究
- 居冰峰;傅建中;应济;陈子辰
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文利用相变材料固-液相变、液-固相变吸收或释放相变潜热而自身温度保持恒定的特性，将其引入精密机床热位移控制领域，建立起精密机床恒温部件传热模型，在分析相变传热的基础上，讲座了包含相变过程的三维热传导，推导出传热过程的泛函表达式，利用有限元方法计算了相变材料复合精密机床恒温部件的温度场，求解了相变结构后相变材料复合恒温构件温度场与构件结构的关系。计算结果表明相变材料复合恒温构件在减小精密机床部件的温升方面效果明显，为机床热位移控制开辟了机关报思路，具有一定的实用价值和应用前景。
43.新型纳米导轨
- 赵美蓉;曲兴华;陆伯印
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文研制了一种新型纳米导轨。该导轨为V形滑地摩擦导轨，其设计符合动力学原理，结构简单，精密极高，导轨系统自身的谐振频率很高。此外，运动副县长之间的摩擦磨损小，导轨运动灵活平稳，驱动一个自由度，滑架只产生一个自由度的运动。将该导轨应用于研究人员开发的纳米激光干涉仪激光干涉仪中，取得了良好看铲果。该文对导轨的结构、选材和性能进行了深入研究和阐述。
44.压电式细小管道人作业机器人
- 孙萍;孙麟治;罗明辉
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文采用压电冲击式驱动原理和形状记忆合金（SMA）记忆功能，研制出能在细小管道（ψ10mm）内爬行并可进行夹取管内异物作业的微小机器人原理模型。通过建立动力学模型，对其运动机理进行了探讨，给出了电压频率与移动速度的关系和爬坡能力的测试结果。
45.最小条件圆柱度过误差的快速评定方法
- 徐志良;张凤生;刘红
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文按最小条件建立了评定圆柱度误差的非线性数学模型，研究了测量点数很多的情况下，加速评定圆柱度误差的新算法--逐次最小二乘法，给出了采用非线性模型的最小区域圆柱度误差评定计算方法，不仅减少计算工作量，而且具有较高的计算精密。
46.人造筋肌驱动的信生机构的动力学建模
- 卢普生;郭锡章;龚振邦;汪勤悫
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文研究的是一种用人造筋肌驱动的仿手腕并联机构的动力学建模问题。该机构的驱动源是一种粘弹性的高分子材料--人造筋肌。文中首先分析了人造筋肌驱动的化学机理，在此基础上提出了人造筋肌的力学模型，然后建立构构的动惫学模型，最后将二者结合起来，得意到该整个系统的动力学模型。
47.强激光多维靶球精密调焦系统研制
- 章亚男;苏建良;孙麟治;陆林海;李康元;秦新捷;夏沪生
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：靶场是惯性约束聚变（ICF）物理实验的重要部分，八路激光束以45°大角度入射，其精密调焦质量的优劣，直接关系到ICP实验的实验效果。该文介绍了运动精度高达±3μm的自动调焦系统结构实现方法、保证高精度的措施和部分精度测试结果。
48.减振器多速程控示功机的虚拟化实现
- 迟颖;李思恩;施文康
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：虚拟仪器是现代仪器技术和计算机技术相结合的产物，它使用传统仪器技术产生了革命怀的飞跃。该文是应用虚拟仪器技术对减振器多速程控示功机进行虚拟化实现的一种探索，是虚拟仪器应用的一种浓度作者采用LabVIEW软件开发平台设计了仪器软面板和测试控制系统，定义了自己的专用仪器。实践证明，该方案人机界面友好、使用灵活方便、建构容易、开发时间短、易于扩展系统功能。
49.微夹持器现状及其发展
- 李玉和;毛乐山;李庆祥;薛实福
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微夹持技术是微机械（MEMS）及其部件装配与维护的关键技术之一。该文以微夹持器的分类与研究成果进行了分析总结，阐述了典型微夹持器的组成结构及其工作原理，指出当前微夹持器研制的发展方向，以期对微夹持器的研究工作起一定借监作用。
50.硅微加速度计及其应用
- 徐毓娴;龙志峰;李庆祥;薛实福
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：硅微加速度计是一种最有发展前景的微结构加速度计，在国外应用已很广泛，在国内尚属空白。该文介绍一种力平衡式硅微加速度计，它的作用原理是基于经典的牛顿力学定律，当传感器感受加速度时，检测质量反向移动，于是形成电容的变化，该信解调后反馈给加力电级，产生静电反馈力用来平衡检测质量的惯性力，利用此反馈力所对应的输出电压作为加速度计对遥控车行进中的加速度、速度和位移进行了实测，结果表明：该加速度计体积小、结构紧凑、性能优越，价格低谦特别适合放置在车辆、桥梁等物体内，有着广阔的应用前景。
51.基于图象处理的自动调焦方法中清晰度判据函数的研究
- 白立芬;于水;薛实福;李庆祥
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：图象处理法是一种比较理想的自动调焦方法，其核心就是清查找茺判据函数的选择。该文总结多年研究成果，介绍了清晰度判据函数的分类和几种常用的判据函数：基于图象直方图、基于图象微分和基于图象对比度的判据函数，并提出了一种基于图象积分的判据函数--功率积分函灵敏，详细介绍了它的原理。利用在行研制的大规模集成电路线宽测量系统，选用不同的测量对象和测量参数，对各种判据小孩子数的单峰性、准确性、重复性、调焦范围等调焦性能进行了测试和分析，绘制了调焦曲线，给出了分析结果。
52.虚拟仪器在测试技术中的应用
- 龙志峰;白立芬;徐毓娴;李庆祥
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍了虚拟仪器和美国国家仪器公司的 LabView开发平台，及其在现代测试技术中的应用。并使用虚拟仪器技术对汽国情平稳性数据进行了笔现、存储和分析。该曲型开发和应用实例表明虚拟仪器具有开发效率高、调整方便快捷、信号分析处理能力强、移植能力强、成本低谦的明显优越性。预计虚拟仪器技术将在中国下世纪的工业、科研和教学中将发挥重要的作用。
53.Delphi高级编程语言在机车轴瓦壁厚测量仪中的应用
- 沈林勇
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文简要介绍了机车薄壁轴瓦厚度测量仪的测量要求和组成。
- 壁厚测量;
54.自位机器人的控制系统
- 程维明;钱恶武;何永义
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：自位机器人具有倾覆后领先自身调节系统主支进行瓷态恢复的能力。其控制系统由上位机（PC机）和下位机（PLC）组成，用限位开关和重锤码盘作为姿态传感器，可在各种机身姿态和关节瓷态下，按最佳逻辑实现自动行走和自位。该文研究了车轮式三肢体自位机器人的控制系统构成以及行走和自位的动作控制。
55.多波长扫描法测量物体表面微观轮郭
- 曹原;程维明;韦春龙
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：数字光学轮郭仪用于测量物体表面的微观轮廓，从中获得表面粗糙度等信息。该文首先分析了单波长法的测量范围受到限制的原因，介绍了适应于多波长情况下的测量原理，并对各自的优缺点进行了分析。
56.超精密轴系设计制造及应用
- 黎永明;刘建国
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：超精密回转轴系部件是机床、转台、刻线机及圆度测量仪等设备的主要组成部分，它直接带动工件旋转实现微米级(0.1μm～0.01μm)甚至纳微米级(0.1μm～0.01μm)的超精加工和测量。采用何种最佳的轴承结构及技术能设计制造达到超精密的主轴回转精度，实际应用状况如何，这是该文叙述的主要内容。
57.微静电电机动力学性能分析研究
- 沈蓓军;王润文;路郭武
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：文章建立了考虑转子变形的微静电电机的动力学分析模型，通过这一动力学分析模型分析研究了微静电电机的动力学运转特性，对微静电电机的转子与定子的间隙以及转子定子的尺寸变化对电机的影响进行了讨论，得到了一些有益的计算结果，对于微电机的设计具有指导意义。
58.多坐标测量机的协调控制
- 吴晓峰
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：随着坐标测量机技术的不断发展，多种类型的坐标测量机相继问世，诸如：快速测量机、多坐标测量机、测量机器人等。但是，到目前为止仍局限于单一坐标测量机作业。然而，在广泛的应用领域内，需要双坐标测量机用至多坐标测量机协调配合来完成测量作业，如汽车整身的测量等，要求大于单坐标测量机作业区的测量范围及提高测量效率等。
59.定偏心锡磨盘的超精密平面抛光工艺
- 张红霞;高宏刚;殷伯华;吴明根
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：介绍一种新型的定偏心式的锡盘的超精密平面抛光工艺。在表面成形模型的基础上，对定偏心抛光方式进行分析、模拟计算，获得表面材料均匀去除的条件；采用锡盘作为研磨盘及合理的工艺条件，对硬脆材料、不犭钢进行大量研抛试验，研究人员获得硬脆材料表面粗糙度0.5nm rms、平面度λ/10/Φ100，不锈钢表面粗糙度＜Ralnm、平面度λ/Φ160。
60.超分辨共焦扫描显微镜光学膜片研制
- 蒋式弘;张庆;陈明仪;沈建忠;黄宣劭
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文证明了在圆形-圆形光瞳相干成象时，用透过函数为零阶贝塞尔函数的光学膜片对象函数进行调制可以达到和圆形-环形光瞳完全相同的效果。实验结果表明，所加工的位相型光学膜片完全达到了设计要求，分辨率分别是普通显微镜的1.7倍，圆形-圆形光瞳共焦扫描显微镜的1.25倍。
61.CCD视觉测量系统的实时误差修正与补偿
- 熊康健;王向军
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文分析了影响视觉测量系统精度的主要因素。基于分析，提出了一种新的误差实时补偿方法。此方法以精密光栅的标准偏差累积曲线为依据，得到测量系统全视场的综合系统误差议程。在测量过程中，用整体误差议程对得到的待测物体的边缘位置进行实时修正，从而可以得到待测物体更精确的参数。
62.基于微操作的主从遥控机器人系统研究状况
- 孙立宁;邵亮;张涛;蔡鹤皋
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：主从遥控技术在微细操作、精密作业中的应用，结合了操作者的主观能动性和微操作机器人的精密驱动、定位、作业能力，既消除了人在进行微操作时因颤拌导致的误差，也拓燕尾服了微/纳米操作机器人的作业能力。该文详细论述了主从遥控微操作的国内外发展现状及趋势，总结了系统多、虚、微的发展方向，分析了基于微操作的主从遥控机器人系统的组成，特点及应用领域，及其在微机械零件装配、生物细胞操作、显微外科手术等领域的美好应用前景。
63.五十铃汽车曲轴动平衡去重方法及误差分析
- 陈慧宝;乐重法;肖随安;陈冬安
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文阐述了曲轴的动平衡原理和去重方法，分析了曲轴去重误差，并提出了减少误差的措施，对曲轴自动去重动平衡系统方案作了简要介绍。
64.用计算机辅助概念设计的理论和方法开发机器人模块化设计系统
- 陈慧宝;徐世钰;张振龙
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：概念设计是近十年发燕尾服起来的一种机关报的产品开发设计方法。该文在介绍机械系统概念设计基本内容和采用计算机辅助的产品（或机械系统）的智能化步骤基础上，提出了在Gantry机器人模块化设计系统的开发中如何利用计算机辅助进行概念设计的一些初步设想。
65.微机械阵列滤波器
- 徐道连;钟先信;陈愚;肖沙里
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：硅微加速茺传感阵列器件是新型的传感器件。该文在微机械阵列传感器的基础上提出了滤波器的新思想，在信号获取的同时实现滤波。文中以阵列滤波器的动态特性进行了研究。给出了滤波器的幅频特性曲线。
66.微衍射光栅的矢量分析
- 潘武;钟先信;黎凯;陈愚
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微衍射光栅是微光机电系统中重要的器件之一。当光栅特征尺寸与波长大小相当或更小时，对这种光栅的衍射光学特性的研究，是一个重要问题。该文以电磁理论为基础，通过严格的矢量衍射理论对微衍射总是进行严格分析，讨论入射光波长、光栅结构形状、特征尺寸对衍射效率和偏振特性的影响，这些分析和研究结果对微光机电系统的设计具有十分重要的指导意义。
67.微机械振动阵列频谱传感器的特性研究
- 陈愚;徐道连;高杨
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：由多人传感单元构成的硅微机械阵列频谱传感器是一种新型器个。该器件利用了传感器固有频率附近一段频带具有最高的信号传感灵敏度和优良地滤波特性的优点，使其获取信号的同时实现滤波；弥补了单个传感器频响范围不足的缺陷陷。
68.基于多传感器数据融合的RBF神经网络加工尺寸预测
- 王灏宇;王涛;刘晓胜;马玉林
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文针对机械加工过程中的颈问题--难于实时准确地检测被加工工件的尺寸，提出了一种软测量的方法。把加工过程中较易测量的过程辅助变量（如主轴电机电流、工件振动信号）和已知参数、刀具参数及加工方式）作为输入量，以加工尺寸误差作为输出量，建立基于RBF神经网络的在线加工尺寸智能预测模型。同时叙述了针对HURCO BMC20镗铣加工中心建立的加工尺寸智能预测实验系统，并通过实验研究证明了该方法是有效的。
69.微系统技术在血细胞检测中的应用现状及发展前景
- 黎凯;钟先信;陈愚;潘武
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微系统技术应用于血细胞的形态、变形能力和流动特性的检测分析取得了很多重要成果。文中分析了生物学微腔激光器芯片探测器、微通道显微成象测量法、微孔显微测量法原理及技术特点，并指出今后可能在微型光谱分析仪和微型光学放大成象法两个方向取得较大进展，推动血细胞分析仪器的微型进程。
70.柔性结构损伤模式估计系统与估计实验研究
- 王代华;周德高
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：提出采用PVDF压电薄膜传感器阵列构成损伤模式识别系统的方法。该方法利用PVDF压电薄膜阵列监测结构的振动特怀，以输出信号的相对值构成模式识别的特征向量，用ANN分类器实现结构损伤模式分类。研究表明该系统对待识别结构的振动幅度无固定要求，能有效地识别损伤模式。
71.一级精度齿轮磨床的分度系统
- 王立鼎;张玉玲;王聪
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：作者采用一种极精密的多齿分茺系统组装在齿轮磨床上，它包括多齿分度机构和多排滚动体的工件主轴系统（密珠轴系）。该系统具有±1角秒的分度精度，能可靠的适用于加工ISO1328-75E齿轮精度标准中的1级精度齿轮调节。该文将介绍密珠轴系和多齿分度机械色的结构与特点、分度精度测试以及加工齿轮的效果。
72.串联臂驱动压电微电机研究
- 邵培革;曲炳郡;王立鼎
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文研究了一种新型夺电微电机---串联臂驱动压电微电机。该种压电微电机的关键元件是由两个弯曲振动的单元组成的串联臂，串联臂一端固定在电机的定子上，则其自由端在一定的控制信号的作用下，将形成幅度较大的椭圆振动，并通过摩擦力驱动与该自由端相接触的转子转动。该文建立了串联臂驱动压电微电机的运动学模型，并对该种电机的特性进行了计算分析。
73.干涉显微镜的参考本位调制研究
- 刘冲;郭隐彪;张凤生
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：干涉显微镜可用于超精加工表面的加工质量评定，但是这种方法无法获得表面形貌图，因而难以全面评定表面的加工质量。该文提出了一种干涉显微镜的参考相位调制方法，配以CCD摄像机、图像处理系统和微型计算机，可获得了超精加工表面的形貌，并能全面评定表面加工质量。文中论述了其中的参考本位市制实现方法，给出了实验结果。
74.圆盘形上推气体轴承的工程计算方法
- 董吉洪
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：气体静压轴承广泛应用于高精度设备，精密检测装置等领域，一般分为圆柱气体轴承、平面上推气体轴砂及球面气体轴承三类。平面止推气体轴承又分为矩形平面止推气体轴承、圆环形平面止推气体轴承及圆盘形平面止推气体轴承三种。圆肋形平面止推气体轴承在三坐标测量机等高精度仪器设备上有广泛的应用。该文利用线性气源假设，将气膜中的气体二维流动化为一维流动，使雷诺得到简单的解析解，从而找到了一种适合于圆盘形平面止推气体轴承的工程计算方法，得到了圆盘平面止推气体轴承承载能力的简单工程计算公式，为设计计算圆盘平面止推气体轴承找到了一条有铲、快捷的途径。
75.一种微位移工作台的结构设计及误差分析
- 田兴志;何惠阳
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：介绍了一种步进谐波机构驱动的精密位移工作台的结构设计，分析了各主要误差源对工作台定位精度的影响。通过合理的精度设计、可消减传动误差的结构设计，可使工作台实现亚微炫及的分辨率及微米级的定位精度。
76.生长型制造中扫描路径对零件物理性能的影响
- 刘征宇;宾鸿赞;张小波;高宏卿
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文深入分析了生长型制造中粉末激光扫描烧结的机理，从改善零件物理性能出发，指出了常用的“S”形线扫描路径的缺点，提出了一种新型扫描路径--分形扫描路径。理论分析及住址计算和实验结果表明，分形扫描路能有效地提高零件的机械强度、表面平整性、尺寸精度等物理性能。
77.新型微小机器人驱动原理研究
- 潘英俊;刘京诚;秦岚;刘宇;张智海
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文提出了一种新型微小机器人的驱动方法。通过两组电磁力交互作用实现机器人的直接驱动。该文研究的驱动原理与装置，为研制新型微小步行式爬壁机器人奠定了基础。
78.SMA微型机器人系统中非线性力学关系的实时线性控制
- 杜华生;张世武;吴月华;杨杰
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文提出了一种以形状记忆合金（SMA）弹簧做为系统驱动控制元件的微型机器人模型。笔者从动力学角度分析了该机器人模型的运行行为，在此基础上提出了一种不通过用力传感器而对SMA机器人系统进行有效控制的实时线性控制方法。
79.共焦检测法在高精度自动调焦闭环控制中的应用
- 沈亦兵;扬国光
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：光学、气动和电学的方法无法可用于光学镜组的离焦检测。该文提出了利用光学共焦原理测量光学系统离焦的新方法。与共它离焦检测相比，该方法具有检测灵敏度高，检测范围适中，响应速度快等优点，特别适用于高精茺的离焦检测和控制，论文从理论上导出了该方法检测灵敏度和检测范围的各参量关系。由此分析得出了影响灵敏度和检测范围的参量。在此基础上设计完成了一套可应用于自动调焦的高精茺闭环检测控制系统，并给出了此闭环系统的控制处理电路和压电精密弹性机械执行机构。在选择良好参数后，系统达到的离焦检测灵敏度为0.1μm，检测控制精度为±0.1μm，检测范围-15～15μm。
80.定量化编码方法在图象测量中的应用
- 王凤华;王向军
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：目前，在许多领域都需要对物体纹理住处进行精确的探测，通常的探测方法都是先对图象进行增强、滤波、二值化等处理，再通过RLC编码或基他链形编码，提取特下后进行分类。在获取物体的图像时，不可避免地存在干扰，因此采用统计编码法的准确度会受到影响。为了达到更好的判别精茺，该文介绍了一种依据纹理的几何特性的定量编码方法，首先确定图像的形心，以特事实上的方向为基准编码方向，以放射形式在不同的方向对物体进行编码，得到各个方向上的物体影象边缘过渡点的坐标值，通过与样本进行匹配，得出结论。这种编码方法对几何工件的检测已经得到了较好的结果。此方法不适应于对许多纹理住处的检测，包括干涉版权法纹的检测，人的笔迹、面孔以及指纹的识别和探测等。
81.利用布里渊散射的分布式光纤温度传感技术
- 胡晓东;胡小唐;刘文晖
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文论述了一种利用布里渊散射的分布式光纤温度传感技术，该技术利用了光纤中布里渊频移与温度的依赖关系。对分布式传感技术中的关键指标-空间分辨力进行了论述，并通过实验证明了光纤温度与布进而渊频移量之间存在的线性关系。
82.制造质量超前控制和“零废品”工程
- 曲兴华;张崇明;王仲;沙吉乐;叶声华
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：精密工程中制造质量的控制至关重点，为了保证产品质量，传统上采用了统计工序控制方法，取得了效果。随着产品质量要求的提高和生产自动化及柔性的加强，需要越来越多的对制造质量实行超前控制，直至达到“零废品“生产过程。该文在论述要领的基础下，结合小型零件光电检测站的测量数据，利用现代数学方法和信息技术，对产品尺寸的变化过程进行了分析。
83.CCD光学自动检测仪
- 曲兴华;贾果欣;赵美蓉;陆伯印;张崇明
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：精密工程中，大批量规则形状的小型工件的几何尺寸的测量关系到产品质量和生产调整。目前，通过测量仪器的自动化程度和测量速度不能满足要求。针对实际需要，研究人员研制了CCD光学自动检测仪，完成了从上料、检测到工件分选的全部自动测量过程。该文论述了该仪器的光学测量原理、仪器结构原理、总体电路控制和实验及精度分析等。
84.Delphi 高级编程语言在机车轴瓦壁厚测量仪中的应用
- 沈林勇;郑晨阳
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文简要介绍了机车薄壁轴瓦厚度测量仪的测量要求和组成。详细分析了Delphi 高级编程语言编制人机界面的方法和在Windows95环境下用API函数实现上位PC机和下位单片机的串行通信的方法。
85.新型5自由度光学非球面CAM系统
- 郑为民;曹天宁
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文介绍自行研制的采用计算机控制光学表面成形技术的新型非球面CAM系统ZDCCOS。它包括5自由度（4轴数控、1轴浮动）的研磨热量光数控机床、专用双旋转研磨抛光头和检验面形的CQG-1型数字波面干涉仪。加工时，计算机控制非球面工件作2维摆动与旋转，研磨抛光头作3维移动，保证加工工具始终处于加工点的法向。经快速精磨和抛光，该系统加工了一个Φ300mm，F5.9的高陡度打靶聚焦透镜工艺试样，面形精度达到了 1.2λ（RMS，λ=0.6328μm）。
86.一种用于电子设备抗振冲的精密机构设计
- 孙宁;李瑰贤
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：该文提出了一种新型精密大机构使得隔振器在电子设备只产生较小的位移响应时获得非线性刚度和非线性阻尼，解决振动和冲击隔离不易由同一隔振器实现的技术难题。抗振冲精密机构由一个曲柄滑块机构和一个少齿差行星轮系组合而成，机构的输出轴为一个拨杆，拨杆菌与拨轮配合拨动弹簧或粘弹材料，当机构输入微小位移时准确对应拨杆几十度的转动，这种大角茺的摆动拨动弹性材料实现非线性刚度和阻尼的调节，为隔振器设计小型化和抗振动与冲击耦合优化提供了一条新途径。
87.微机械技术的研究与开发
- 徐锡林
- 《中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会》 | 1999年
摘要：微机械技术是指在数毫米、微米乃至纳米惊讶范围内生产微机、光、电器件的技术科学。该技术的成熟，先进与否，是决定微机械，微机电系统（MEM），微米电机系统（MOEMS）各种器件能否大批量，低成本生产的关系，也是广大科技者致力于解决的重心所在。为此，该文就构筑微机械技术体系的微加工技术，微装配技术，微夹持技术，微检测技术和微驱动技术作简要阐述及评论。文章阐述了各项专项技术的功能，现状，特点，新的成就及发展方向，可供参考之用，以求研究人员的高校，科研院所联合工厂企业一起，忙使得中国在该技术领域里能在世界上占有一席之地。