用于校正粒子光学装置中的畸变的方法

摘要

本发明涉及用于校正粒子光学装置中的畸变的方法。本发明涉及一种用于校正由TEM的投影系统(106)引起的畸变的方法。本领域技术人员知道，畸变可能限制TEM的分辨率，特别是当利用X射线断层摄影术对特征进行3D重建时。而且，当在TEM中利用应变分析时，畸变会限制应变的检测。为此，本发明公开了一种装配有多极(152)的检测器，该多极以抵消投影系统引起的畸变的方式使TEM的图像歪曲。该检测器还可以包括用于检测电子的CCD或者荧光屏(151)。