使用加速度前馈的精确运动控制

摘要

本发明揭示一种高精度位置控制设备。一支撑于一参考框架(10)上的物件是通过一致动器(14)来移动。一位置传感器(16)产生一位置信号，且一固定至参考框架(10)的加速度传感器(24)产生一加速度信号。一控制系统响应于所述位置信号及所述加速度信号来控制致动器(14)移动所述物件，以便以降低的随动误差来遵循一所命令的轨道。