弹性体印模、使用此类印模的形成图案方法以及生产此类印模的方法

摘要

一种利用油墨(520)在衬底(500)上印刷图案的弹性体印模(10)至少部分地由第一材料如PDMS形成。印模包括位于第一平面中的第一表面(12)、位于第二平面中的第二表面(14)以及从第一表面(12)向第二表面(14)延伸的第三表面(16)。第一表面(12)通常形成印模(10)的突出特征的接触表面，而第三表面(16)通常形成此类特征的边缘。第一表面(12)包括基本上不透油墨(520)的阻隔层(22)。任选地，第二表面(14)可载有另一个阻隔层(24)以用于抑制油墨(520)的气相扩散。相反，第三表面(16)能透过油墨(520)。因此，就得到了非常适用于边缘传递光刻型形成图案方式的印模(10)。印模的第一材料用作油墨容器，从而减少印模的重新加墨频率，层(22)防止油墨(520)不希望地扩散至衬底(500)的区域而与印模(10)接触，因此20改善了衬底表面上的特征清晰度。