公开/公告号CN1877385A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-12-13
原文格式PDF
申请/专利权人 明基电通股份有限公司;
申请/专利号CN200510076351.1
申请日2005-06-10
分类号G02B13/16(20060101);G02B13/18(20060101);G02B27/18(20060101);G03B21/00(20060101);H04N5/74(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人魏晓刚;李晓舒
地址 中国台湾
入库时间 2023-12-17 17:55:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-06-11
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-02-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-12-13
公开
公开
机译: 以及由投影镜头制造的投影镜头制造设备,投影镜头制造方法,通过该投影镜头制造方法的具备该投影镜头的投影仪
机译: 投影镜头,包括投影镜头的光学设备以及制造投影镜头的方法
机译: 极紫外(EUV)投影曝光系统的投影镜头的光学装置,例如用于制造LCD,根据定位装置的操作位置,将光圈设置在投影镜头的工作空间之外