具有多个组件浮置栅极的电可擦可编程只读存储器

摘要

所构成的EEPRM器件在第一有源区域(21)中具有多个组件的浮置栅极结构，包括由多晶硅衬垫元件(69)所环绕且有适用于由电子隧道的薄的氧化层(61)的垂直层(63)相互隔开的中心多晶硅本体(51)。辅助有源区域(23)与第一有源区域相绝缘，被用作为编程的电荷储存器且通过延伸的离子掺杂区域(45)与第一有源区域相连接。多个罩(99)与多个衬垫(69)相接触，但不与中心多个本体(51)接触。通过多个罩且进入到中心多个本体的孔(82)可采用金属(91)填充，它与多个罩电连接在一起，并使多个衬垫与中心多个本体相连接。