用于光敏组合物的显影液和形成图案化抗蚀膜的方法

摘要

本发明提供了一种显影液，它能以简便方式显影光敏组合物，同时保持令人满意的感光度和分辨率，还提供了一种使用所述显影液形成图案的方法。这种显影液包含一种含选自由胺－N－氧化物基、磺酸根、硫酸根、羧酸根和磷酸根组成的组中的亲水基的化合物，它特别适合用于含有含硅聚合物的光敏组合物的显影。本发明还涉及使用所述显影液形成图案的方法。