公开/公告号CN1795538A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-06-28
原文格式PDF
申请/专利权人 S.O.I探测硅绝缘技术公司;
申请/专利号CN200480014590.8
申请日2004-05-27
分类号H01L21/20(20060101);H01L21/762(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人王允方;刘国伟
地址 法国贝尔宁
入库时间 2023-12-17 17:29:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/20 授权公告日:20090527 终止日期:20130527 申请日:20040527
专利权的终止
2009-05-27
授权
授权
2006-08-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-06-28
公开
公开
机译: GaN晶体,GaN自支撑衬底,用于GaN晶体生长的籽晶衬底,GaN晶体制造方法和GaN自支撑衬底制造方法
机译: 用于半导体元件生产中的III-V族化合物半导体的生产包括在晶体衬底层上形成带状掩模,以及在晶体衬底层上生长III-V族半导体层。
机译: 在非晶和多晶衬底上薄膜cSi的低温异质外延生长方法以及在非晶,多晶和晶体衬底上的c-Si器件的低温异质外延生长方法