法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-20
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N35/08 申请公布日:20060510 申请日:20051026
发明专利申请公布后的驳回
2006-08-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-10
公开
公开
机译: 传感器,传感器系统,便携式传感器系统,金属离子的分析方法,安装基板,镀层化学成分的分析方法,化合物的分析方法以及一价铜的分析方法
机译: 表面缺陷确认装置,使用相同的液体缺陷分析方法以及液晶显示装置的基板缺陷分析方法
机译: 3D基板翘曲分析系统,3D基板翘曲分析装置,3D基板翘曲分析方法和程序。