用于在微机电系统结构内部减缓验证质量块运动的方法和系统

摘要

本发明描述了一种微机电系统(MEMS)器件(10)，其包括：一个基片(110)，该基片(110)具有至少一个锚固件；一个验证质量块(12)，该验证质量块(12)具有至少一个从该验证质量块(12)延伸出来的减速延展部(66)，或者至少一个形成于该验证质量块(12)上的减速凹槽(158)；一个马达驱动梳形件(18)；一个马达感测梳形件(20)。这种MEMS器件还包括多个悬挂装置(14)，这些悬挂装置(14)被构造成将所述验证质量块悬挂在所述基片的上方并且位于所述马达驱动梳形件与马达感测梳形件之间，这些悬挂装置(14)被锚固在所述基片上。这种MEMS器件还包括一个固连在基片上的主体(60)，和至少一个从主体(60)延伸出来的减速梁(64)。所述减速延展部被构造成与所述减速梁或者减速凹槽发生配合，并且在所述验证质量块接触所述马达驱动梳形件和马达感测梳形件之前使得所述验证质量块减速或者停止。