光刻胶保护膜用组合物、光刻胶保护膜及光刻胶图形形成方法

摘要

提供能够适用于湿浸式刻蚀工艺的光刻胶保护膜、能够形成该保护膜的光刻胶保护膜用组合物、使用该光刻胶保护膜的光刻胶图形形成方法。该光刻胶保护膜用组合物含有含氟聚合物和溶剂(水、醇或含氟溶剂)，上述含氟聚合物具有选自－COOH、－SO