化学气相成长装置及膜成长方法

摘要

一种化学气相成长装置及膜成长方法。提供可能防止微粒粘附于衬底，成长高质量薄膜的化学气相成长装置。其包括：真空处理室(4)，使复数枚衬底(3)的薄膜成长面朝下的基座(2)，配置在基座(2)上方的加热器(11)，将阻挡气体供给基座(2)的上表面的第1阻挡气体供给部分(9)，将阻挡气体供给加热器(11)的上表面的第2阻挡气体供给部分(10)，由第1阻挡气体供给部分(9)及第2阻挡气体供给部分(10)供给的阻挡气体各自独立控制其流量。通过适当地设定从第1阻挡气体供给部分(9)及第2阻挡气体供给部分(10)供给的阻挡气体的流量比，及阻挡气体的供给量和原料气体的供给量比，能够形成抑制了微粒粘附的膜。