公开/公告号CN1618123A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 塞姆特里克斯公司;
申请/专利号CN02827688.4
申请日2002-09-17
分类号H01L21/316;
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人韩宏
地址 美国科罗拉多
入库时间 2023-12-17 16:08:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-09-19
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-07-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-05-18
公开
公开
机译: 用于集成电路的镧基分层超晶格材料
机译: 用于铁电,高介电常数,集成电路应用的分层超晶格材料的制造方法
机译: 包括惰性气体退火以制造分层的超晶格材料的电子器件的制造方法以及使用低温预处理的方法和分层的超晶格材料