多腔体分离磊晶层有机金属化学气相磊晶装置及方法

摘要

本发明涉及一种多腔体分离磊晶层有机金属化学气相磊晶装置及方法，利用本发明提供的多腔体分离磊晶层有机金属化学气相磊晶装置可同时进行多个有机发光二极管组件的磊晶反应，并且使得不同型态的磊晶层经过阶段时间的调整能同时独立反应，藉此使多个有机发光二极管组件同时形成复数个不同型态的磊晶层，达到缩短制程时间的目的。