法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/66 授权公告日:20070725 终止日期:20181030 申请日:20021030
专利权的终止
2007-07-25
授权
授权
2005-04-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-02-16
公开
公开
机译: 原位干涉终点检测和非干涉终点监测的氮化物间隙刻蚀过程实现方法和装置
机译: 原位干涉终点检测和非干涉终点监测的氮化物间隙刻蚀过程实现方法和装置
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