用铒离子注入勃姆石方法制备掺铒氧化铝光波导薄膜

摘要

光电子材料及器件领域中，用铒离子注入勃姆石方法制备掺铒氧化铝光波导薄膜，特征：采用溶胶－凝胶和离子注入复合工艺原位合成掺铒Al2O3光波导薄膜，用浸渍提拉法或旋转涂覆法在SiO2/Si基片上涂覆γ－AlOOH干凝胶薄膜，再将铒离子注入γ－AlOOH干凝胶薄膜，经高温烧结原位合成掺铒Al2O3光波导薄膜，工艺：在SiO2/Si基片上涂覆γ－AlOOH干凝胶薄膜；铒离子注入γ－AlOOH干凝胶薄膜；重复第一、二步，获得最终掺铒离子的γ－AlOOH干凝胶薄膜总厚度和总注入铒离子剂量；将掺铒离子的γ－AlOOH干凝胶薄膜在600－1000℃烧结，通过2Er+2γ－AlOOH→(Al，Er) 2O3+H2O的化学和物理复合过程，制备出掺铒Al2O3光波导薄膜。优点：与已有技术相比，这类薄膜具有高的铒离子分布均匀度和分散度，光致发光强度提高3到6倍。