离子交换法制备铒镱磷酸盐波导光放大器

摘要

采用离子交换法制备铒镱共掺磷酸盐波导光放大器,实验研究交换熔盐中的Ag离子浓度和交换时间对波导折射率和深度的影响.首先通过微电子的一些基本工艺制备8μm,10μm以及12μm宽度的Al条形掩模,并根据不同的Ag NO3浓度以及不同的交换时间得到不同的波导深度样品.然后在光学位移平台上对制备的条形波导进行测试,其中10μm宽,6μm深的条形波导的信号光输出功率为9μW,信号光净增益达3.0 d B/cm.