用于通过局部气流增强来生成超净微环境的设备和方法

摘要

提供了一种用于在机械性活动传输接口的局部区域中产生减少了微粒的环境的方法。气流的增强产生了扫气气流，以去除所希望的区域中或周围的微粒。增强的气流将消除静态或紊流气流区域，从而有助于从基板的附近去除潜在的微粒。这将防止微粒淀积在基板上，从而提升合格率并改进质量。