法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-03-07
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-06-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-04-07
公开
公开
机译: 以及制造氧化物薄膜铁电薄膜或金属薄膜的方法,使用该薄膜的电子电气设备以及制造设备
机译: 铁电薄膜,金属薄膜或氧化物薄膜及其制备方法和装置以及使用所述薄膜的电气或电子设备
机译: 铁电薄膜,金属薄膜或氧化物薄膜及其制备方法和装置以及使用所述薄膜的电气或电子设备