GAS DETECTORS; HYDROGEN; THIN FILMS; MICROMACHINING; PATENTS;
机译:集成微机械气体传感器器件中氧化锡薄膜的稳定性和可靠性研究
机译:序贯电子束蒸发法制备的CuO掺杂SnO2薄膜的生长和表征,用于硫化氢气体传感器。
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机译:溶胶 - 凝胶法制备的氢气感应TiO_2薄膜的结构及其与磁控溅射膜的比较
机译:薄膜氧化镍气体传感器,用于高温氢气检测。
机译:一种使用微机加工薄膜压电谐振器的电池无线呼吸传感器
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