制备金刚石和类金刚石薄膜的方法

摘要

本发明是一种用脉冲电弧放电电离有机溶液制备金刚石和类金刚石薄膜，即：将有机溶液在常温常压和脉冲电压0.5～30KV条件下，诱导阳、阴电极(1)、(2)产生脉冲电弧放电，使有机溶液电离成含碳等离子体，冲向并沉积在基板(3)上，制得金刚石薄膜或类金刚石薄膜。本发明具有合成温度低和沉积速率快等优点。