投影光学系统,具有该投影光学系统的投影曝光装置以及投影曝光方法

摘要

一种投影光学系统,具有较短的硝路长与较少的透镜个数,且于初期状态中具有良好的成像性能,而当照明条件或环境发生变化之后也可以维持良好的成像性能。屈折型投影光学系统,自第1面A侧起,依序备有具负屈折力的第1透镜群G1、具正屈折力的第2透镜群G2、具负屈折力的第3透镜群G3、第4透镜群G4、以及具正屈折力的第5透镜群G5。在投影光学系统中的透镜面的有效内径或透镜的外径,从第1面A侧朝向第2面B侧的方向上的结构,为在第1透镜群G1中为单调的逐片增加,在第2透镜群G2中将所具有的倾向从逐片增加转变为逐片减少,在第3透镜群G3中将所具有的倾向从逐片减少转变为逐片增加,以及在第5透镜群G5中为单调的逐片减少。多个透镜之中的至少一个透镜保持成可以调整位置及姿势中至少一种的情形。再者,投影光学系统的第2面B侧的数值孔径为0.8以上。