以C－V法测量等效栅极沟道长度的方法

摘要

本发明提供了一电容－电压(C－V)法来测量一元件中的一等效栅极沟道长度,并且可同时获得元件中的一栅极蚀刻偏差长度和一栅极－漏极重叠长度。本方法中,使用本方法测量出的一栅极长度和实际电子显微式扫描器所量出的实际栅极长度误差低于5%。更甚者,本发明所使用的计算方法仅为简单的联立方程式,使用人工计算或电脑就可求出。随着设计法则的不断缩小化,本发明提供一简单的方法以求出元件中重要的参数。