法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-11-17
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2003-08-27
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030615 申请日:20001116
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2001-05-30
公开
公开
2001-02-28
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 电子束曝光系统和使用该电子束曝光系统制造设备的方法
机译: 根据细胞合并进行电子束曝光的电子束曝光系统和使用该方法的电子束曝光方法
机译: 用于根据单元合并来曝光电子束的电子束曝光系统以及使用该系统的电子束曝光方法