用来对具有复杂的三维空间形状的零件进行尺寸和/或形状检验的光电子装置

摘要

一种用来对零件,尤其是具有复杂的三维空间形状且作为硬盘存储器的读/写磁头(33,47,63)的支承件的零件进行尺寸和形状检验的光电子装置,它包括:一具有两个导向件(7,9)的底座(1),所述导向件与滑动件(11)相连,所述滑动件可以沿着导向件(7,9)纵向移动;以及一用来对待检零件(33,47,63)进行锁定和提供基准面的系统(31)。所述滑动件(11)支承住一旋转台(13),一用于光电子测量系统的支承件(15)固定于其上。旋转台(13)围绕一平行于导向件(7,9)的轴线的旋转运动可以使所述光电子测量系统基本上在一垂直于所述轴线的平面内摆动,以便在检验过程中,使光电子测量系统的构件(75,77)和零件(33,47,63)之间的相互位置最优化。只要更换所述装置中的部分构件,就可以对具有不同旋转和标称尺寸的零件(33,47,63)进行检验。