Surfexを用いた複雑形状表面粒子測定：複雑な形状の超精密加工部品表面付着粒子の自動測定システム

摘要

ここで紹介した『Surfex』は、これまで個別装置の組み合わせによる検査システムによって、煩雑な作業であった部品付着粒子検査の全自動化により効率化を進め、理解度、熟練度などの個人差によるオペレータ起因の検査精度への悪影響を排除し、検査スループットの向上と高いデータコリレーション信頼性を提供することを目標として開発された。 HDD構成部品をはじめとする、超精密加工部品の付着粒子検査対像粒径の微小化と、検査頻度が増加し、『Surfex』の活躍の場は今後一層増えるものと考える。