用于复杂形状精密机械零件表面强化处理的Model-3PⅢ装置

摘要

等离子体浸没离子注入(PIII)消除了一般束线离子注入(IBII)固有的直射性限制,特别适合于处理复杂形状零件.PIII通过等离子体渗氮、氮离子注入有效地增强了零件表面耐磨、抗腐性能.近几年来,我们针对初期PIII存在的物理与技术问题,进行了技术攻关,在第一代多功能PIII装置(Model-1 PIII)多年运行经验基础上,吸收了近五年来我们在PⅢ研究与工业应用开发方面取得的成果,研制成功了第三代多功能PⅢ装置((Model-3 PIII).一年多来的研究与开发工作表明:它是增强复杂形状精密机械零件表面耐磨、抗腐、抗疲劳等特性的非常有效的处理手段.本文详细描述了(Model-3 PIII)装置重大技术改进、主要技术性能及初步实验结果.